國產光刻膠通過量產驗證 武漢太紫微公司攻克關鍵技術

長江商報消息 ●長江商報記者 李璟

中國光谷誕生重大科技成果，湖北企業在半導體專用光刻膠領域實現重大突破。

日前，武漢太紫微光電科技有限公司（簡稱太紫微公司）在全國率先攻克合成光刻膠所需的原料和配方，我國芯片制造關鍵原材料取得瓶頸性突破。該公司推出的T150A光刻膠產品，已通過半導體工藝量產驗證，實現配方全自主設計，有望開創國內半導體光刻制造新局面。

從性能來看，該產品對標國際頭部企業主流KrF光刻膠系列，相較于國外同系列產品UV1610，T150A在光刻工藝中表現出的極限分辨率達120nm，且工藝寬容度更大，穩定性更高，堅膜后烘留膜率優秀。

長江商報記者注意到，太紫微公司成立至今不到5個月時間。天眼查顯示，太紫微公司成立于2024年5月31日，地址位于武漢光谷，是一家以從事研究和試驗發展為主的企業，企業注冊資本200萬元。公司法定代表人為朱明強，持股比例40%，最終受益股份77%。

根據華中科技大學官網，朱明強為華中科技大學武漢光電國家研究中心二級教授，光學與電子信息學院雙聘教授，主要研究領域為有機及納米光電子學，研究方向包括熒光分子開關合成與應用、有機光電材料與器件。朱明強于2018年入選英國皇家化學學會會士，近五年來主要從事熒光分子開關合成及超分辨顯微成像、聚集誘導發光、光刻膠，以及先進能源材料和器件等項目的相關研究。

這意味著，太紫微公司的背后，有著華中科技大學武漢光電國家研究中心團隊的強力支撐。

武漢光電國家研究中心是科技部于2017年批準建設的第一批、也是唯一一批6個國家研究中心之一，其前身為2003年獲批的武漢光電國家實驗室。該團隊主攻關鍵光刻膠底層技術研發，已在電子化學品領域深耕20余年。

本次太紫微公司推出的T150A光刻膠產品，堪稱業界的一顆新星。太紫微公司負責人朱明強表示，這是我國首次攻克合成光刻膠所需原料和配方，對我國逐步改變在集成電路領域的受制現狀具有重大意義。不過從原材料開發起步，最終獲得自主知識產權的配方技術，這僅僅是初步成果。未來團隊還將研發一系列適用于不同場景的KrF與ArF光刻膠，為國內相關產業帶來更多創新與突破。

責編：ZB